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光學膜厚儀

光學膜厚儀是一款精準又好用的薄膜厚度測量設備。它能測低至20納米的超薄薄膜，測量誤差小于1納米，最快每秒可測100次，重復測量精度高達0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強，在振動或復雜環境下也能穩定工作。
產品品牌： 霍爾德?電子
價格： 我要詢價
廠商性質： 生產廠家
產品時間： 2026-03-13

產品概述

光學膜厚儀應用領域

廣泛應用于半導體與微電子制造、顯示面板、光學器件制造、生物醫學、汽車及新材料與新能源研發等領域，能滿足從晶圓鍍膜、顯示面板薄膜到光學元件鍍膜、醫用植入物涂層、汽車玻璃膜層及新能源薄膜的高精度厚度檢測需求，助力各行業提升產品質量與研發效率。


光學膜厚儀技術參數

型號HD-FT50UVHD-FT50NIR
建議工作距離非聚焦光束，安裝距離5至10mm安裝側面出光附加鏡時：34.5mm±2mm；
軸向出光時：55mm±2mm；
測量角度±10°±5°
光斑類型彌散光斑；在10mm安裝距離時，光斑直徑約為4mm；聚焦光斑；約200μm
探頭外徑*長度Φ6.35*3200mm3Φ20*73mm
探頭重量190g108g（探頭）、49g（附加鏡）
光源類型氘鹵光源鹵素光源
波長范圍190-1100nm400-1100nm；1000-1700nm
測厚范圍約20nm~50μm（折射率1.5時）約50nm~50μm（折射率1.5時）
適配探頭UV-VISVIS-NIR軸向；
VIS-NIR徑向；（標配其一）
可連探頭數量1
探頭防護等級IP40
重復精度0.05nm
準確度<±1nm或±0.3%（取較大值）
采樣頻率Max.100Hz（視求解參數復雜度而定）
測控軟件專用上位機軟件
電源電壓220V±20V50HzAC/
最大功率50W
工作溫度-10至+40℃
相對濕度20%至85%RH（無冷凝）
控制器重量約5000g


光學膜厚儀




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